大口径光学元件损伤在线检测装置
文献类型：专利
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| 作者 | 任冰强 ; 黄惠杰 ; 张维新 ; 赵永凯 ; 刘丹 ; 韩广礼 ; 杜龙龙 ; 王树森 ; 路敦武 |
| 发表日期 | 2004-09-08 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL3232286.0 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 一种大口径光学元件损伤在线检测装置，包括照明光路、损伤信号接收光路、扫描系统和图像处理系统，其特点是：采用激光照明光路，由激光光源、照明平行光管和分光镜构成；所述的损伤信号接收光路上依此设置有分光镜、接收平行光管，在接收平行光管之后同时接设有观察目镜和CCD摄像机；激光照明光路的光轴与损伤信号接收光路的光轴相互垂直，且均与分光镜的表面成45°，通过分光镜后激光照明光路和损伤信号接收光路共光轴；扫描系统由第一扫描反射镜和第二扫描反射镜组成；所述的CCD摄像机和计算机组成图像处理系统。本实用新型的优点是操作简 |
| 公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
| 申请日期 | 2003-06-18 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN03232286.0 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/9850]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_精密光电测控研究与发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 任冰强,黄惠杰,张维新,等. 大口径光学元件损伤在线检测装置, 大口径光学元件损伤在线检测装置. ZL3232286.0. 2004-09-08. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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