可调F-P干涉仪极间距的在线监控系统
文献类型：专利
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| 作者 | 师树恒 ; 王斌 ; 朱健强 |
| 发表日期 | 2008-01-09 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL200720066604.1 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 一种用于高功率激光系统的可调F-P干涉仪极间距的在线监控系统。该监控系统包括：一电容传感器，该电容传感器第一极板安装在所述固定平台上，电容传感器第二极板可靠接地，且安装在由压电陶瓷驱动器驱动的所述微位移平台上，所述电容传感器第一极板经传感器测量电路、A/D转换器与主控制器的输入端相连，该主控制器的输出端经D/A转换器与所述的压电陶瓷驱动器相连。本实用新型使F-P干涉仪的间距稳定度保持在15nm/h以内，幅度调制效应的调制深度始终优于4％，能够很好地满足幅度调制效应补偿装置的技术要求。 |
| 公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
| 申请日期 | 2007-01-24 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200720066604.1 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/9198]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_高功率激光物理国家实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 师树恒,王斌,朱健强. 可调F-P干涉仪极间距的在线监控系统, 可调F-P干涉仪极间距的在线监控系统. ZL200720066604.1. 2008-01-09. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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