检测槽宽与深均匀性的测试仪
文献类型:专利
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作者 | 徐文东 ; 施宏仁 ; 何红 ; 林强 ; 干福熹 ; 李锡善 |
发表日期 | 2000-10-28 |
专利国别 | 中国 |
专利号 | ZL00216700.X |
专利类型 | 实用新型 |
权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
中文摘要 | 一种检测槽宽与深均匀性的测试仪,包括带有两个凸台的底座,第一个凸台上有激光器,第二凸台上有聚焦透镜和反射镜。聚焦透镜和反射镜将激光束聚焦在置于带滚珠轴承的滚珠丝杆导轨上的旋转步进电机上的被测基片上,被测基片被平移和旋转地完成扫描。经被测基片的衍射光束被置于上方半环形支架上的三个光电探测器接收,信号采集器件将信号输进计算机内进行处理显示。主要适用于光盘基片槽宽与深均匀性的检测。 |
公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
申请日期 | 2000-03-03 |
语种 | 中文 |
专利申请号 | CN00216700.X |
源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/9272] |
专题 | 上海光学精密机械研究所_高密度光存储技术实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐文东,施宏仁,何红,等. 检测槽宽与深均匀性的测试仪, 检测槽宽与深均匀性的测试仪. ZL00216700.X. 2000-10-28. |
入库方式: OAI收割
来源:上海光学精密机械研究所
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