一种毛细管刻蚀导通的方法
文献类型：专利
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| 作者 | 张丽华 ; 孙良亮 ; 段继诚 ; 朱贵杰 ; 张维冰 ; 梁 振 ; 张玉奎 |
| 发表日期 | 2009-06-24 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN200710159023.7 |
| 专利类型 | 发明 |
| 关键词 | 物理化学 |
| 权利人 | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种毛细管刻蚀导通的方法，此方法包括两个步骤：用工具对石英毛细管很小的区域进行处理，使毛细管此区域的聚酰亚胺层去掉，壁厚明显减小；将毛细管的处理部分浸没在氢氟酸中进行刻蚀，直至导通。本发明的优点为与传统的刻蚀方法相比，此方法刻蚀导通的毛细管刚性强，不易断裂；此刻蚀方法成功率高；刻蚀导通时间变短；刻蚀过程操作简单方便。 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 学科主题 | 物理化学 |
| 公开日期 | 2009-06-24 ; 2011-07-11 |
| 申请日期 | 2007-12-19 |
| 语种 | 中文 |
| 资助信息 | 大连化物所 |
| 专利证书号 | 带填写 |
| 专利申请号 | CN200710159023.7 |
| 专利代理 | 马驰 ; 周秀梅 |
| 源URL | [http://159.226.238.44/handle/321008/107621]  |
| 专题 | 大连化学物理研究所_中国科学院大连化学物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张丽华,孙良亮,段继诚,等. 一种毛细管刻蚀导通的方法, 一种毛细管刻蚀导通的方法. CN200710159023.7. 2009-06-24. |
入库方式： OAI收割
来源：大连化学物理研究所
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