磁控溅射法制备Si1-xGex/B多层薄膜及其热电性能研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 杜鑫1,2; 苗蕾1,3 ; 刘呈燕1,3; 王潇漾1,3
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| 刊名 | 新能源进展
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| 出版日期 | 2016 |
| 期号 | 5页码:345-350 |
| 关键词 | 热电材料 硅锗薄膜 纳米结构 热电性能 |
| 其他题名 | Thermoelectric Property of Si1-xGex/B Multilayer Thin Film Prepared by Magnetron Sputtering |
| 文献子类 | 期刊 |
| 英文摘要 | Unique structure （SiGe/B） based multilayer film prepared by magnetron sputtering was designed with purposes of improving electrical conductivity and Seebeck coefficient, and reducing thermal conductivity. The multilayer film contains 5 periods and each of |
| 语种 | 中文 |
| 资助机构 | 国家自然科学基金项目（51572049,51562005）;广东省科技计划项目（2013B050800006）;中国科学院BIC对外合作项目（182344KYSB20130006） |
| 源URL | [http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/16076]  |
| 专题 | 中国科学院广州能源研究所 |
| 作者单位 | 1.中国科学院广州能源研究所,中国科学院可再生能源重点实验室,广州 510640 2.中国科学院大学,北京100049 3.桂林电子科技大学,广西桂林541004 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杜鑫,苗蕾,刘呈燕,等. 磁控溅射法制备Si1-xGex/B多层薄膜及其热电性能研究[J]. 新能源进展,2016(5):345-350. |
| APA | 杜鑫,苗蕾,刘呈燕,&王潇漾.(2016).磁控溅射法制备Si1-xGex/B多层薄膜及其热电性能研究.新能源进展(5),345-350. |
| MLA | 杜鑫,et al."磁控溅射法制备Si1-xGex/B多层薄膜及其热电性能研究".新能源进展 .5(2016):345-350. |
入库方式： OAI收割
来源：广州能源研究所
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