减反射薄膜的制备及其性能
文献类型：会议论文
| 作者 | 张雪娜 ; 徐雪青 ; 沈辉 ; 郑岳华 |
| 出版日期 | 2002-11-28 |
| 会议名称 | 第二届全国纳米技术与应用学术会议 |
| 会议日期 | 2002-11-28 |
| 会议地点 | 宁波 |
| 关键词 | 红外光谱分析 减反射薄膜 二氧化硅 射频溅射法 溶胶凝胶法 膜材料 |
| 中文摘要 | 使用射频溅射和溶胶-凝胶(Sol-Gel)两种方法在玻璃表面制备SiO<,2>减反射薄膜,比较两种方法制备的薄膜减反效果.分析了Sol-Gel方法中溶胶浓度、陈化时间以及退火温度对薄膜透过率的影响.当溶胶浓度为0.4M、陈化时间为6天以及退火温度达450℃时,制得的样品透过率可达99.3％.采用红外光谱分析了SiO<,2>溶胶及凝胶的结构变化过程,发现随着陈化时间和退火温度增加,Si—O—Si键增强. |
| 会议主办者 | 中国电子学会 |
| 会议录 | 《半导体学报》第24卷 增刊第二届全国纳米技术与应用学术会议专刊
 |
| 会议录出版者 | 宁波 |
| 会议录出版地 | 宁波 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/7928]  |
| 专题 | 中国科学院广州能源研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张雪娜,徐雪青,沈辉,等. 减反射薄膜的制备及其性能[C]. 见:第二届全国纳米技术与应用学术会议. 宁波. 2002-11-28. |
入库方式： OAI收割
来源：广州能源研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。