GaN湿法刻蚀方法及其应用研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 张淼荣 |
| 答辩日期 | 2018 |
| 文献子类 | 博士 |
| 授予单位 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 导师 | 潘革波 |
| 关键词 | GaN,湿法刻蚀,电化学传感,表面增强拉曼散射 |
| 学位名称 | 博士 |
| 学位专业 | 物理化学 |
| 其他题名 | GaN湿法刻蚀方法及其应用研究 |
| 源URL | [http://ir.sinano.ac.cn/handle/332007/6360]  |
| 专题 | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所_学科交叉综合研究部_潘革波团队 |
| 作者单位 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张淼荣. GaN湿法刻蚀方法及其应用研究[D]. 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所. 2018. |
入库方式： OAI收割
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