一种小面积图形刻蚀深度的测量方法
文献类型：专利
| 作者 | 苏瑞巩,缪小虎,李晓伟,时文华,熊敏,张宝顺 |
| 发表日期 | 2018-07-03 |
| 国家 | 中国 |
| 其他题名 | 一种小面积图形刻蚀深度的测量方法 |
| 申请日期 | 2014-12-23 |
| 源URL | [http://ir.sinano.ac.cn/handle/332007/6435]  |
| 专题 | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所_纳米加工公共平台 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 苏瑞巩,缪小虎,李晓伟,时文华,熊敏,张宝顺. 一种小面积图形刻蚀深度的测量方法. 2018-07-03. |
入库方式： OAI收割
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