基于电磁原理驱动的大尺寸MEMS 微镜芯片及其封装结构
文献类型：专利
| 作者 | 沈文江,余晖俊,李帆雅 |
| 发表日期 | 2018-08-21 |
| 国家 | 中国 |
| 其他题名 | 基于电磁原理驱动的大尺寸MEMS 微镜芯片及其封装结构 |
| 申请日期 | 2018-01-23 |
| 源URL | [http://ir.sinano.ac.cn/handle/332007/6481]  |
| 专题 | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所_纳米器件及相关材料研究部_沈文江团队 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 沈文江,余晖俊,李帆雅. 基于电磁原理驱动的大尺寸MEMS 微镜芯片及其封装结构. 2018-08-21. |
入库方式： OAI收割
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