一种用于离子注入的激光辅助装置及离子注入方法
文献类型：专利
| 作者 | 赵迎春,崔志国,熊敏 |
| 发表日期 | 2018-12-25 |
| 国家 | 中国 |
| 其他题名 | 一种用于离子注入的激光辅助装置及离子注入方法 |
| 申请日期 | 2014-12-30 |
| 源URL | [http://ir.sinano.ac.cn/handle/332007/6491]  |
| 专题 | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所_纳米加工公共平台 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵迎春,崔志国,熊敏. 一种用于离子注入的激光辅助装置及离子注入方法. 2018-12-25. |
入库方式： OAI收割
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