基于FBAR技术的湿度和气压信号检测电路关键技术研究
文献类型：学位论文
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2018-05-22 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 高同强 |
| 关键词 | 薄膜体声波传感器 接口电路 振荡器 相位噪声 湿压检测 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 公开日期 | 2018-06-02 |
| 源URL | [http://ir.ie.ac.cn/handle/80137/11068]  |
| 专题 | 电子学研究所_电子所博硕士学位论文_电子所博硕士学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | . 基于FBAR技术的湿度和气压信号检测电路关键技术研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2018. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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