改善硅谐振压力传感器温度特性的方法研究
文献类型：学位论文
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2018-05 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 陈德勇 |
| 关键词 | 硅谐振压力传感器 热应力有限元分析 低应力组装 应力隔离结构 |
| 学位专业 | 电子与通信工程 |
| 学科主题 | 传感器 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2018-06-04 |
| 源URL | [http://ir.ie.ac.cn/handle/80137/11148]  |
| 专题 | 电子学研究所_电子所博硕士学位论文_电子所博硕士学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | . 改善硅谐振压力传感器温度特性的方法研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2018. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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