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双闭式气体静压导轨超精密工作台振动特性分析

文献类型:期刊论文

作者蔡黎明; 钟君; 成贤锴; 刘斌; 于涌
刊名实验室研究与探索
出版日期2015-05
源URL[http://ir.sibet.ac.cn/handle/154232/407]  
专题康复工程技术研究室
作者单位中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
蔡黎明,钟君,成贤锴,等. 双闭式气体静压导轨超精密工作台振动特性分析[J]. 实验室研究与探索,2015.
APA 蔡黎明,钟君,成贤锴,刘斌,&于涌.(2015).双闭式气体静压导轨超精密工作台振动特性分析.实验室研究与探索.
MLA 蔡黎明,et al."双闭式气体静压导轨超精密工作台振动特性分析".实验室研究与探索 (2015).

入库方式: OAI收割

来源:苏州生物医学工程技术研究所

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