在恒星干涉仪中, 高速倾斜镜(Fast-steering mirror, FSM)因分辨率高、响应频率快等特点被广泛应用于校正大气湍流、仪器内部振动等引起的波前倾斜。一方面，针对倾斜镜本身在加工、装调中引入的镜面与触动器偏转轴不共面等误差进行系统分析，通过数值方法研究了上述因素在倾斜镜工作时产生的附加光程差(Optical Path Difference，OPD)，并讨论了该光程差对恒星干涉仪条纹跟踪精度的影响；另一方面，两臂光束之间的平行度误差是造成干涉条纹可见度损失的主要因素之一，通过分析大气扰动引起的波前倾斜对条纹可见度的影响，提出了一种基于单一阵列探测器、简单高效的星光平行度实时校正方案，并结合室内实验论证了该方案的可行性。实验结果表明：经高速倾斜镜校正后的星光方向平行度初步满足了恒星干涉仪系统对波前倾斜的需求。