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大口径非球面镀膜均匀性分析与修正挡板设计

文献类型:期刊论文

作者马路1; 赵斐1; 许竞1; 程敏1,2; 艾力·伊沙木丁1; 孙正文1
刊名真空科学与技术学报
出版日期2017-03-01
卷号37期号:3页码:250-254
关键词非球面 光学薄膜 膜厚均匀性 修正挡板 分布式挡板
ISSN号1672-7126
DOI10.13922/j.cnki.cjovst.2017.03.02
其他题名Novel Correction Mask for Thickness Uniformity Improvement of Coatings on Large Aperture Aspheric Surface
产权排序1
英文摘要

针对1.2 m口径天文望远镜非球面主反射镜的镀膜问题,建立了大口径非球面镀膜的膜厚分布模型,使用数值分析的方法计算了非球面镀膜相对于球面镀膜的膜厚分布差异。针对非球面镀膜的膜厚均匀性问题,给出了非球面修正挡板的设计方法。为减少修正挡板的加工成本,提高修正挡板的结构刚度,研究了球面面型挡板用于非球面镀膜的可行性,提出了一种圆周分布式排列的挡板设计方法。结果表明:宽度较窄的分布式挡板能够在避免划伤镜面的前提下更贴近镜面,因而有更好的遮挡效果以达到膜厚均匀性的要求,并且有更低的加工成本、更高的结构刚度,以及能够根据实际情况便捷地进行挡板调整和改造。

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WOS关键词非球面 ; 光学薄膜 ; 膜厚均匀性 ; 修正挡板 ; 分布式挡板
语种中文
CSCD记录号CSCD:5950632
资助机构国家自然科学基金资助项目( No. 11273051)
源URL[http://ir.xao.ac.cn/handle/45760611-7/1800]  
专题新疆天文台_射电天文研究室
新疆天文台_光学天文与技术应用研究室
通讯作者艾力·伊沙木丁
作者单位1.中国科学院新疆天文台乌鲁木齐830011
2.中国科学院大学北京100049
推荐引用方式
GB/T 7714
马路,赵斐,许竞,等. 大口径非球面镀膜均匀性分析与修正挡板设计[J]. 真空科学与技术学报,2017,37(3):250-254.
APA 马路,赵斐,许竞,程敏,艾力·伊沙木丁,&孙正文.(2017).大口径非球面镀膜均匀性分析与修正挡板设计.真空科学与技术学报,37(3),250-254.
MLA 马路,et al."大口径非球面镀膜均匀性分析与修正挡板设计".真空科学与技术学报 37.3(2017):250-254.

入库方式: OAI收割

来源:新疆天文台

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