光路可调的红外透射方法检测键合质量
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈良惠
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| 刊名 | 激光与红外
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| 出版日期 | 2010 |
| 卷号 | 40期号:6页码:644-647 |
| 中文摘要 | 基于红外透射原理,采用调节光路的冷光源方法搭建了晶片键合界面的质量检测系统. 利用该系统可以很好的实现GaAs, InP材料的键合界面检测和刀片分离时的在线监测,同时本文以GaAs基分布布拉格反射镜(DBR)和InP基有源区键合为例,结合红外透视图像和薄膜转移照片分析,对键合表面处理方法进行了优化选择. 试验表明该检测系统数据可靠,使用方便,为晶片键合条件及参数优化提供了实用平台 |
| 学科主题 | 光电子学 |
| 收录类别 | CSCD |
| 资助信息 | 国家自然科学基金项目,国家高技术研究发展计划,深圳信息学院青年自然科学基金项目 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2011-08-16 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/21718]  |
| 专题 | 半导体研究所_纳米光电子实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈良惠. 光路可调的红外透射方法检测键合质量[J]. 激光与红外,2010,40(6):644-647. |
| APA | 陈良惠.(2010).光路可调的红外透射方法检测键合质量.激光与红外,40(6),644-647. |
| MLA | 陈良惠."光路可调的红外透射方法检测键合质量".激光与红外 40.6(2010):644-647. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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