光敏杂化溶胶-凝胶法研制多模干涉波导分束器
文献类型：期刊论文
| 作者 | 尹小杰 ; 安俊明; 张家顺
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| 刊名 | 光电子·激光
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| 出版日期 | 2010 |
| 卷号 | 21期号:10页码:1452-1454 |
| 中文摘要 | 采用有机/无机杂化溶胶-凝胶方法制备高质量的SiO2薄膜和光敏性薄膜材料;利用三维FD-BPM(finitedifference beam propagation method)研究了掩埋式和暴露式矩形波导结构多模干涉(MMI)型光功率分束器的主要性能,理论模拟发现,掩埋式矩形波导结构分束器的长度,宽度和厚度容差性都优于暴露式矩形波导结构的MMI型分束器,并且具有更宽的带宽特性.通过简单的紫外曝光,显影工艺制备了1×4 MMI型波导分束器,分束器在1 550 nm波长附近的插入损耗为8.1~8.8 dB,功率分束不均匀性小于1 dB |
| 学科主题 | 光电子学 |
| 收录类别 | CSCD |
| 资助信息 | 国家自然科学基金资助项目,国家"863"计划资助项目 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2011-08-16 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/21540]  |
| 专题 | 半导体研究所_集成光电子学国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 尹小杰,安俊明,张家顺. 光敏杂化溶胶-凝胶法研制多模干涉波导分束器[J]. 光电子·激光,2010,21(10):1452-1454. |
| APA | 尹小杰,安俊明,&张家顺.(2010).光敏杂化溶胶-凝胶法研制多模干涉波导分束器.光电子·激光,21(10),1452-1454. |
| MLA | 尹小杰,et al."光敏杂化溶胶-凝胶法研制多模干涉波导分束器".光电子·激光 21.10(2010):1452-1454. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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