激光直写技术在微电极阵列制作中的应用研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈海峰 ; 曹宇 ; 李祥友 ; 蔡志祥 ; 王小宝 ; 王少飞 ; 李金洪 ; 曾晓雁 ; 陈弘达 |
| 刊名 | 高技术通讯
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| 出版日期 | 2011 |
| 卷号 | 21期号:2页码:210-214 |
| 中文摘要 | 利用激光微细熔覆电子浆料(LMCEP)技术在熔融石英玻璃上初步制作了4×4微电极阵列(MEA)----目前研究细胞电生理的常用工具之一, 在电极阵列背面利用微笔直写技术直接"写"上加温和热敏电阻, 完成了微电极阵列、电热器件和热敏器件的集成制造. 随后对电极阻抗和微加热器性能进行了测试, 并在其上培养神经细胞. 结果表明: 激光直写导线宽度与加工电流、光阑直径、电子浆料、涂层厚度和衬底材料相关; 电极和微加热器性能基本满足使用需求, 但是电子浆料成分对细胞生物活性存在一些影响. 今后将更换电子浆料材料, 提高生物相容性 |
| 学科主题 | 光电子学 |
| 收录类别 | CSCD |
| 资助信息 | 863计划 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2011-08-16 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/21582]  |
| 专题 | 半导体研究所_集成光电子学国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈海峰,曹宇,李祥友,等. 激光直写技术在微电极阵列制作中的应用研究[J]. 高技术通讯,2011,21(2):210-214. |
| APA | 陈海峰.,曹宇.,李祥友.,蔡志祥.,王小宝.,...&陈弘达.(2011).激光直写技术在微电极阵列制作中的应用研究.高技术通讯,21(2),210-214. |
| MLA | 陈海峰,et al."激光直写技术在微电极阵列制作中的应用研究".高技术通讯 21.2(2011):210-214. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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