一种电子束整形器
文献类型:专利
作者 | 蔡承; 张志军; 王超 |
发表日期 | 2018-11-19 |
专利号 | CN201811375963.4 |
著作权人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
产权排序 | 1 |
英文摘要 | 本发明提出一种电子束整形器。该电子束整形器包括一圆柱型空腔;所述圆柱型空腔的侧面为导电材料;所述圆柱型空腔的一个端面为电介质,并在圆柱型空腔轴心位置留一小孔,供电子脉冲进入;基于电介质在所述小孔的内壁涂有导电膜作为电极施以正电位U0;所述电介质的绝对介电常数沿径向变化;圆柱型空腔的另一端面由导电材料的栅网组成,供电子脉冲输出;所述栅网和圆柱型空腔的侧面均接地以保持0电位。本发明可同时实现电子束波前和径向的整形,因而其调制整形效率较高;功能场为静电场,结构操作简单,更具工程实用性和可操作性;可实现较高的加工精度和组装精度,可与其他相关电子束产生系统进行无缝对接。 |
公开日期 | 2019-02-22 |
申请日期 | 2018-11-19 |
语种 | 中文 |
状态 | 申请中 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/31712] |
专题 | 条纹相机工程中心 |
作者单位 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 蔡承,张志军,王超. 一种电子束整形器. CN201811375963.4. 2018-11-19. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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