中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
一种电子束整形器

文献类型:专利

作者蔡承; 张志军; 王超
发表日期2018-11-19
专利号CN201811375963.4
著作权人中国科学院西安光学精密机械研究所
国家中国
文献子类发明专利
产权排序1
英文摘要

本发明提出一种电子束整形器。该电子束整形器包括一圆柱型空腔;所述圆柱型空腔的侧面为导电材料;所述圆柱型空腔的一个端面为电介质,并在圆柱型空腔轴心位置留一小孔,供电子脉冲进入;基于电介质在所述小孔的内壁涂有导电膜作为电极施以正电位U0;所述电介质的绝对介电常数沿径向变化;圆柱型空腔的另一端面由导电材料的栅网组成,供电子脉冲输出;所述栅网和圆柱型空腔的侧面均接地以保持0电位。本发明可同时实现电子束波前和径向的整形,因而其调制整形效率较高;功能场为静电场,结构操作简单,更具工程实用性和可操作性;可实现较高的加工精度和组装精度,可与其他相关电子束产生系统进行无缝对接。

公开日期2019-02-22
申请日期2018-11-19
语种中文
状态申请中
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/31712]  
专题条纹相机工程中心
作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
蔡承,张志军,王超. 一种电子束整形器. CN201811375963.4. 2018-11-19.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

浏览0
下载0
收藏0
其他版本

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。