一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法
文献类型：专利
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| 作者 | 徐刚 ; 黄春明 ; 陈丽华 ; 黄华凛 ; 侯乃升 |
| 发表日期 | 2010-07-14 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院广州能源研究所 |
| 中文摘要 | 本发明利用晶体生长的模板诱导作用原理，提供了一种二氧化钒薄膜在玻璃衬底上的低 温沉积方法。以玻璃为衬底，依次包括如下步骤：(a)玻璃衬底的清洗与预处理；(b)制备 二氧化硅扩散阻隔层；(c)制备金属氧化物缓冲层；(d)制备二氧化钒热色层。本发明采用 的金属氧化物缓冲层材料在可见光区域透明、结晶温度低、晶形与二氧化钒能够很好匹配， 在二氧化钒薄膜的生长过程能产生模板诱导作用，从而可大幅降低二氧化钒薄膜的沉积温度。 简化二氧化钒智能玻璃的制备工艺，降低成本，节约能耗，大大降低了二氧化钒智能玻璃产 业化过程的难 |
| 公开日期 | 2008-10-08 ; 2011-07-13 |
| 申请日期 | 2008-04-07 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200810027271.0 |
| 专利代理 | 莫瑶江:广州华进联合专利商标代理有限公司 |
| 源URL | [http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/5314]  |
| 专题 | 中国科学院广州能源研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐刚,黄春明,陈丽华,等. 一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法, 一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法. 2010-07-14. |
入库方式： OAI收割
来源：广州能源研究所
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