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基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量
文献类型：期刊论文
| 作者 | 邓钦元; 唐燕; 周毅; 杨勇; 胡松 |
| 刊名 | 中国激光
 |
| 出版日期 | 2018 |
| 卷号 | 45期号:6页码:604001-604007 |
| 关键词 | 测量 空间频域 白光干涉 2π模糊 相干信息 相位突变 |
| ISSN号 | 0258-7025 |
| DOI | 10.3788/CJL201845.0604001 |
| 文献子类 | J |
| 英文摘要 | 提出了一种基于空间频域分析的白光干涉测量算法,该算法通过消除相位信息中的2π模糊来实现高精度的表面形貌测量。在频域分析中可以同时提取样品的相干形貌和相位形貌。相干形貌虽然不受2π模糊的影响,但是包含测量误差,精度较低。相位形貌虽然能够实现较高精度的表面形貌测量,但存在2π模糊问题。因此采用相干信息与相位信息相结合的方式来消除相位信息中的2π模糊。此外,针对由背景噪声和光源扰动所引起的局部相位突变,提出了相邻像素点差分分析方法,有效消除了局部相位突变,从而提高了测量的稳定性。该方法不需要复杂的计算,工作效率较高。分别从理论和实验两个方面进行分析,以验证提出方法的有效性。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:6268744 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/9222]  |
| 专题 | 光电技术研究所_微电子装备总体研究室（四室） |
| 作者单位 | 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邓钦元,唐燕,周毅,等. 基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量[J]. 中国激光,2018,45(6):604001-604007. |
| APA | 邓钦元,唐燕,周毅,杨勇,&胡松.(2018).基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量.中国激光,45(6),604001-604007. |
| MLA | 邓钦元,et al."基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量".中国激光 45.6(2018):604001-604007. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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