共聚焦激光扫描显微系统光学设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 肖海东; 吴永前 |
| 刊名 | 光学仪器
 |
| 出版日期 | 2018 |
| 卷号 | 40期号:6页码:65-74 |
| 关键词 | 光学设计 Zemax 激光共聚焦 显微物镜 照明系统 探测系统 |
| 文献子类 | J |
| 英文摘要 | 为了实现非接触式、快速高精度的光学检测,设计了一种共聚焦激光扫描显微光学系统。在保证设计指标的前提下,简化了各光组的结构,采用7片球面透镜并以K9玻璃作为透镜材料。使用Zemax软件对光学系统进行了设计和仿真。结果表明:物镜的数值孔径为0.49；系统的径向和轴向光学分辨率分别为0.400μm和0.772μm；显微聚焦系统聚焦弥散斑直径小于2μm；照明系统聚焦弥散斑直径小于10μm；探测系统的聚焦光斑直径小于20μm；根据仿真结果确定了针孔1和针孔2的尺寸均为20μm,且厚度不超过0.1mm；各子系统的MTF曲线均接近衍射极限,具有很高的光学传输效率。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/9191]  |
| 专题 | 光电技术研究所_先光中心 |
| 作者单位 | 1.中国科学院光电技术研究所 2.中国科学院大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 肖海东,吴永前. 共聚焦激光扫描显微系统光学设计[J]. 光学仪器,2018,40(6):65-74. |
| APA | 肖海东,&吴永前.(2018).共聚焦激光扫描显微系统光学设计.光学仪器,40(6),65-74. |
| MLA | 肖海东,et al."共聚焦激光扫描显微系统光学设计".光学仪器 40.6(2018):65-74. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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