超高精度光学元件面形干涉检测技术及应用
文献类型:期刊论文
作者 | 侯溪; 宋伟红; 吴高峰; 贾辛; 全海洋; 徐富超 |
刊名 | 《第十七届全国光学测试学术交流会摘要集》
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出版日期 | 2018 |
页码 | 1 |
关键词 | 光学元件 干涉检测 |
文献子类 | J |
英文摘要 | 介绍超高精度光学元件面形干涉检测技术需求,概括介绍国内外面形干涉检测技术现状和发展趋势。重点介绍光电技术研究所在平球面绝对检测、拼接检测、非球面检测方面的技术进展和相关应用。最后对其未来发展进行了展望。 |
语种 | 中文 |
源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/9226] ![]() |
专题 | 超精密总体部 |
作者单位 | 中国科学院光电技术研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 侯溪,宋伟红,吴高峰,等. 超高精度光学元件面形干涉检测技术及应用[J]. 《第十七届全国光学测试学术交流会摘要集》,2018:1. |
APA | 侯溪,宋伟红,吴高峰,贾辛,全海洋,&徐富超.(2018).超高精度光学元件面形干涉检测技术及应用.《第十七届全国光学测试学术交流会摘要集》,1. |
MLA | 侯溪,et al."超高精度光学元件面形干涉检测技术及应用".《第十七届全国光学测试学术交流会摘要集》 (2018):1. |
入库方式: OAI收割
来源:光电技术研究所
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