微机械谐振式加速度计的研究现状及发展趋势
文献类型:期刊论文
作者 | 高杨; 雷强; 赵俊武; 吕军光 |
刊名 | High Power Laser and Particle Beams强激光与粒子束 |
出版日期 | 2017 |
卷号 | 29期号:8页码:80201 |
ISSN号 | 1001-4322 |
关键词 | 谐振器 谐振频率 灵敏度 |
其他题名 | Research status and development trend of micro-mechanical resonance accelerometer |
文献子类 | Review |
英文摘要 | 微机械谐振式加速度计(MMRA)是通过检测加速度施加前后谐振器谐振频率变化实现对加速度检测的。该传感器具有频率信号输出、稳定性好、灵敏度高、精度高等优点,己成为MEMS传感器的重要发展方向之一。详细讨论了微机械谐振式加速度计设计中的关键技术,难点及对应解决方案、发展趋势。其中,关键技术包括机械结构、激励与检测方式以及谐振器刚度改变方式。分析了谐振器的三种机械结构以及微杠杆工艺误差造成的不对称性;根据谐振器材料的压电特性,可将MMRA分为压电MMRA和非压电MMRA,压电MMRA的激励与检测方式都是压电激励/压电检测,非压电MMRA主要为静电激励/电容检测;讨论了轴向应力和静电刚度这两种谐振器刚度改变方式的原理和适用范围。微机械谐振式加速度计主要存在四个技术难点:机械耦合、温度特性、工艺误差、组装与封装,并针对这四点给出了相应的解决方案。集成,静电刚度,新材料,多轴以及更高的性能指标将是今后微机械谐振式加速度计的主要发展趋势。 |
WOS研究方向 | Automation & Control Systems (provided by Clarivate Analytics) |
语种 | 中文 |
CSCD记录号 | CSCD:6022329 |
源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/285340] |
专题 | 高能物理研究所_实验物理中心 |
作者单位 | 中国科学院高能物理研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 高杨,雷强,赵俊武,等. 微机械谐振式加速度计的研究现状及发展趋势[J]. High Power Laser and Particle Beams强激光与粒子束,2017,29(8):80201. |
APA | 高杨,雷强,赵俊武,&吕军光.(2017).微机械谐振式加速度计的研究现状及发展趋势.High Power Laser and Particle Beams强激光与粒子束,29(8),80201. |
MLA | 高杨,et al."微机械谐振式加速度计的研究现状及发展趋势".High Power Laser and Particle Beams强激光与粒子束 29.8(2017):80201. |
入库方式: OAI收割
来源:高能物理研究所
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