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薄膜体声波谐振器的伽马辐照敏感机理分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王宇航; 吕军光 ; 韩宾; 高杨
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| 刊名 | High Power Laser and Particle Beams强激光与粒子束
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| 出版日期 | 2017 |
| 卷号 | 29期号:7页码:74101 |
| 关键词 | 薄膜体声波谐振器 伽马辐照 频率偏移 空间电荷层电容 |
| ISSN号 | 1001-4322 |
| 其他题名 | Analysis on gamma irradiation sensing mechanisms of thin film bulk acoustic resonators |
| 文献子类 | Article |
| 英文摘要 | 实验证明薄膜体声波谐振器(FBAR)用于检测伽马辐照是可行的,但未对敏感机理进行深入研究。针对这一问题,根据两种不同的FBAR结构,提出了不同机理来解释FBAR在伽马辐照下谐振频率偏移的原因。其中结构- FBAR为四层叠层结构(金属层-压电层-氧化层-金属层),伽马辐照之后,会在辐照敏感层(氧化层)形成一个电压,相当于给压电层施加了一个直流电压,从而使谐振频率发生偏移;结构二与结构一不同的是,结构二FBAR在氧化层和压电层之间有一半导体层,辐照之后在氧化层中形成的电压改变了半导体的表面势,使半导体空间电荷层电容发生改变,从而改变谐振频率。通过仿真得到两种不同机理的结果,并与相关文献的测试结果对比,发现频率偏移的趋势和频率偏移量的数量级是相同的,因此提出来的两种机理是可行的。 |
| WOS研究方向 | Engineering ; Nuclear Science & Technology (provided by Clarivate Analytics) |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:5984650 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/285341]  |
| 专题 | 高能物理研究所_实验物理中心 |
| 作者单位 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王宇航,吕军光,韩宾,等. 薄膜体声波谐振器的伽马辐照敏感机理分析[J]. High Power Laser and Particle Beams强激光与粒子束,2017,29(7):74101. |
| APA | 王宇航,吕军光,韩宾,&高杨.(2017).薄膜体声波谐振器的伽马辐照敏感机理分析.High Power Laser and Particle Beams强激光与粒子束,29(7),74101. |
| MLA | 王宇航,et al."薄膜体声波谐振器的伽马辐照敏感机理分析".High Power Laser and Particle Beams强激光与粒子束 29.7(2017):74101. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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