氮化铝双端固支音叉谐振器的结构设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 吕军光 ; 高杨; 雷强; 赵俊武
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| 刊名 | High Power Laser and Particle Beams强激光与粒子束
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| 出版日期 | 2017 |
| 卷号 | 29期号:10页码:104101 |
| 关键词 | 微传感器 氮化铝双端固支音叉 灵敏度 信号功率 |
| ISSN号 | 1001-4322 |
| 其他题名 | Structure design of aluminium nitride double-ended tuning fork resonators |
| 文献子类 | Article |
| 英文摘要 | 基于氮化铝双端固支音叉(AlN DETF)的谐振式传感器具有尺寸小、稳定性和可靠性好、时间响应快等特点。为了提高灵敏度和分辨率,需要分析AlN DETF谐振器的振梁结构参数对灵敏度和信号功率的影响。在有限元仿真软件中建立AlN谐振器的多物理场模型,进行预应力特征频率分析,仿真验证单个振梁结构参数对灵敏度的影响。在振梁厚度保持恒定的情况下,对仿真结果的数据进行后处理,得到信号功率与振梁长度、宽度的关系。结果表明,相对灵敏度、信号功率随振梁长度、宽度的变化趋势相反。因此,需要根据工艺水平和结构强度等因素,综合考虑AlN谐振器的信号功率和相对灵敏度,对两者进行权衡。仿真分析了优化后AlN DETF谐振器的性能,10 muN范围内的灵敏度为56 Hz/muN,信号功率为6.8*10~(-4) nW,Q值为958。 |
| WOS研究方向 | Automation & Control Systems (provided by Clarivate Analytics) |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:6075478 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/285354]  |
| 专题 | 高能物理研究所_实验物理中心 |
| 作者单位 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吕军光,高杨,雷强,等. 氮化铝双端固支音叉谐振器的结构设计[J]. High Power Laser and Particle Beams强激光与粒子束,2017,29(10):104101. |
| APA | 吕军光,高杨,雷强,&赵俊武.(2017).氮化铝双端固支音叉谐振器的结构设计.High Power Laser and Particle Beams强激光与粒子束,29(10),104101. |
| MLA | 吕军光,et al."氮化铝双端固支音叉谐振器的结构设计".High Power Laser and Particle Beams强激光与粒子束 29.10(2017):104101. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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