本发明涉及一种辐照后互补金属氧化物半导体光子转移曲线和转换增益的测试方法，该方法涉及装置是由静电试验平台、积分球光源、三维样品调整台、样品测试板、互补金属氧化物半导体样品、直流电源和计算机组成，通过调整积分球光源的辐照度和测试软件的积分时间，使两者的乘积为互补金属氧化物半导体的饱和输出，并计算辐照后暗场的平均灰度值和相应的灰度值的时域方差。在亮场条件下，计算辐照后亮场的平均灰度值和相应的灰度值的时域方差。用辐照后亮场数据减掉相同积分时间的辐照后暗场数据，得到辐照后平均灰度值的差值及灰度值时域方差的差值，分别以其作为横、纵坐标绘制出辐照后正确的光子转移曲线，这曲线的线性部分的拟合斜率即为辐照后正确的转换增益。