体声波谐振器MASON模型改进的方法
文献类型：期刊论文
| 作者 | 韩超; 贾乐; 高杨 |
| 刊名 | 压电与声光
 |
| 出版日期 | 2018 |
| 卷号 | 40期号:3页码:352-355，361 |
| 关键词 | 体声波谐振器 Mason模型 损耗机制 模型改进 寄生参数 |
| ISSN号 | 1004-2474 |
| 其他题名 | A Modified Method of MASON Model for Bulk Acoustic Wave Resonators |
| 文献子类 | Article |
| 英文摘要 | 为了更精确的模拟薄膜体声波谐振器(FBAR)特性,提出了一种改进FBAR Mason模型的方法。首先采用有限元仿真法将FBAR压电层的机械损耗和介质损耗考虑在内进行仿真。得到的导纳曲线数据利用等效介电常数法导入FBAR的电磁模型中,可以模拟FBAR电极的欧姆损耗和引线损耗等,仿真得到FBAR的阻抗曲线。通过阻抗曲线拟合的方式提取MBVD模型参数。借鉴MBVD模型参数改进FBAR的Mason模型。对比拟合结果发现,FBAR电磁模型的仿真结果在串联谐振点处向左偏移。推测是由于电磁模型中引入寄生参数,故在改进的Mason模型中加入寄生电感参数后仿真,此时仿真所得的FBAR阻抗特性曲线与电磁模型仿真结果曲线吻合,验证了猜想,且得到了较精确的FBAR Mason模型。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:6270711 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/286483]  |
| 专题 | 高能物理研究所_实验物理中心 |
| 作者单位 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 韩超,贾乐,高杨. 体声波谐振器MASON模型改进的方法[J]. 压电与声光,2018,40(3):352-355，361. |
| APA | 韩超,贾乐,&高杨.(2018).体声波谐振器MASON模型改进的方法.压电与声光,40(3),352-355，361. |
| MLA | 韩超,et al."体声波谐振器MASON模型改进的方法".压电与声光 40.3(2018):352-355，361. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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