电极化对FBAR应力负载效应影响的分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 文数文; 王宇航; 高杨; 张大鹏 |
| 刊名 | 压电与声光
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| 出版日期 | 2018 |
| 卷号 | 40期号:3页码:366-369 |
| 关键词 | 微机电系统 力学传感器 薄膜体声波谐振器 应力负载效应 电极化效应 解析模型 |
| ISSN号 | 1004-2474 |
| 其他题名 | Analysis of Effect of Charge Polarization on Stress-load Effect of FBAR |
| 文献子类 | Article |
| 英文摘要 | 基于薄膜体声波谐振器(FBAR)的力学传感器有很大的应用潜力,但其应力负载效应的敏感机理尚不明确。电极化效应可能是应力负载效应的敏感机理之一。为了研究电极化效应对谐振频率的影响,提出了电极化效应的解析模型。首先根据在理想FBAR中并联谐振频率与纵波声速的关系,推导出并联谐振频率关于压电层材料参数的表达式;然后根据直流电压主要对FBAR的弹性常数和厚度的影响,推导出并联谐振频率与直流电压的关系;最后利用压电效应,得到了力载荷与并联谐振频率的关系。代入数值计算得到并联谐振频率的相对偏移量为+1.003%@400V,对比测试结果,并联谐振频率的相对偏移量为+0.90%@400V,验证了模型的正确性。计算了力载荷为1mN时,电极化效应导致谐振频率的偏移量约为0.5kHz。对比实验测得的应力负载效应对谐振频率的偏移量最低约为262kHz,证明了在应力负载效应中,电极化效应对谐振频率偏移的影响可忽略。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:6270714 |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/286484]  |
| 专题 | 高能物理研究所_实验物理中心 |
| 通讯作者 | 高杨 |
| 作者单位 | 中国科学院高能物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 文数文,王宇航,高杨,等. 电极化对FBAR应力负载效应影响的分析[J]. 压电与声光,2018,40(3):366-369. |
| APA | 文数文,王宇航,高杨,&张大鹏.(2018).电极化对FBAR应力负载效应影响的分析.压电与声光,40(3),366-369. |
| MLA | 文数文,et al."电极化对FBAR应力负载效应影响的分析".压电与声光 40.3(2018):366-369. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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