MEMS-Scale Turbomachinery Based Vacuum Roughing Pump
文献类型：会议论文
| 作者 | Michael J. Shea; Christopher S. Clay; Knox T. Millsaps; Anthony J. Gannon; Garth V. Hobson |
| 出版日期 | 2013 |
| 会议日期 | 2013 |
| 会议地点 | San Antonio,Texas,USA |
| 源URL | [http://ir.etp.ac.cn/handle/311046/83549]  |
| 专题 | 工程热物理研究所_国际学术会议论文_A |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Michael J. Shea,Christopher S. Clay,Knox T. Millsaps,et al. MEMS-Scale Turbomachinery Based Vacuum Roughing Pump[C]. 见:. San Antonio,Texas,USA. 2013. |
入库方式： OAI收割
来源：工程热物理研究所
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