大尺寸水平式APCVD反应器内传热和流动特性的研究
文献类型：会议论文
| 作者 | 蒋花红; 刘石兵; 李昌烽; 郭付军; 郑晨晖 |
| 出版日期 | 2012 |
| 会议日期 | 2012 |
| 关键词 | 大尺寸常压化学气相沉积 混合对流 自然对流 涡胞 数值模拟 |
| 学科主题 | 数值模拟 |
| 源URL | [http://ir.etp.ac.cn/handle/311046/59060]  |
| 专题 | 工程热物理研究所_中国工程热物理学会论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 蒋花红,刘石兵,李昌烽,等. 大尺寸水平式APCVD反应器内传热和流动特性的研究[C]. 见:. 2012. |
入库方式： OAI收割
来源：工程热物理研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。