电子器件制造过程中的一种均匀化加热法的数值研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 赵耀华; 刘志刚; 鹤田隆治 |
| 刊名 | 工程热物理学报
 |
| 出版日期 | 2003 |
| 卷号 | 24期号:5页码:870 ，872 |
| 公开日期 | 2013-08-08 |
| 源URL | [http://ir.etp.ac.cn/handle/311046/67404]  |
| 专题 | 工程热物理研究所_工程热物理学报 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵耀华,刘志刚,鹤田隆治. 电子器件制造过程中的一种均匀化加热法的数值研究[J]. 工程热物理学报,2003,24(5):870 ，872. |
| APA | 赵耀华,刘志刚,&鹤田隆治.(2003).电子器件制造过程中的一种均匀化加热法的数值研究.工程热物理学报,24(5),870 ，872. |
| MLA | 赵耀华,et al."电子器件制造过程中的一种均匀化加热法的数值研究".工程热物理学报 24.5(2003):870 ，872. |
入库方式： OAI收割
来源：工程热物理研究所
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