同侧输入、输出的微环传感器结构及其封装方法
文献类型：专利
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| 作者 | 王春霞 ; 苏保青 ; 陈弘达 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN201010143080.8 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 中文摘要 | 一种同侧输入、输出的微环谐振器阵列结构，包括：多个微环谐振器，该多个微环谐振器制作于SOI片上，形成微环谐振器阵列，每个微环谐振器包括一个输入波导和一个输出波导以及一个微环，该微环位于输入波导和输出波导之间；一光纤阵列，该光纤阵列并排镶嵌在石英材料内；其中微环谐振器阵列的输入波导和输出波导分别与光纤阵列中的光纤对准连接，形成同侧输入、输出的微环谐振器阵列结构。 |
| 公开日期 | 2011-08-30 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN201010143080.8 |
| 专利代理 | 汤保平 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/21943]  |
| 专题 | 半导体研究所_集成光电子学国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王春霞,苏保青,陈弘达. 同侧输入、输出的微环传感器结构及其封装方法, 同侧输入、输出的微环传感器结构及其封装方法. CN201010143080.8. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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