横向剪切干涉仪的胶合检测方法
文献类型：专利
| 作者 | 赵葆常 ; 杨建峰 ; 薛彬 ; 乔卫东 ; 陈立武 ; 贺应红 ; 常凌颖 ; 张健 |
| 发表日期 | 2008-02-13 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN200710018571.8 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 学科主题 | 物理 |
| 公开日期 | 2008-02-13 |
| 申请日期 | 2007-09-03 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200710018571.8 |
| 专利代理 | 徐平 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/14006]  |
| 专题 | 西安光学精密机械研究所_中国科学院西安光学精密机械研究所(2010年前) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵葆常,杨建峰,薛彬,等. 横向剪切干涉仪的胶合检测方法. CN200710018571.8. 2008-02-13. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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