移相干涉术在光学零件测量和像质评价中的应用研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 党利宏 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 1999 |
| 授予单位 | 中国科学院西安光学精密机械研究所. |
| 导师 | 王淑岩,苗兴华 |
| 关键词 | 干涉测量术 干涉仪 移相干涉术 图像处理 |
| 学位专业 | 光学 |
| 中文摘要 | 随着空间科学技术的发展，人们对卫星上的光学系统的成像质量以及分辨率提出越来越高的要求。20米焦距的平行光管是研究我国“863-2”任务中详查谱查结合型相机所必备的检测工具，而20米平行光管的关键技术是大口径（Φ640mm）、长曲率半径（R = 16m）光学零件的加工和检测。本论文结合我国“863-2”中的两用相机任务，提出了在10.8米长的隔振平台上用移相干涉术检验主镜面形误差的检测方案；对主镜现有支承进行了力学以及变形分析；完成了一系列光学、机械加工；从软件上消除了检测光路中平面反射镜引入的面形误差；得到了高精度、直观的测量结果。为科研任务的按时间、高质量完成提供了保证。本文在深入分析干涉原理、像差形成机理以及现代化的实时数字波面位相测试技术的基础上，用软件完成了一部分初级像差标准干涉图的绘制；重现了移相干涉术从干涉图到复原波面，到像差系数的提取的全过程；深入剖析了Zygo公司GPI-XP型干涉仪的工作原理，这对以后国内、所内从事干涉测试以及研制干涉仪的单位和技术人员都具有一定的应用价值。本文还在移相干涉术原理的基础上，提出了一种处理静态干涉条纹的新方法-仿移相干涉法。该方法一举突破现有处理方法中仅能处理特定方向上接近直条纹的限制，它不仅能处理任意方向上的非封闭条纹，而且能够处理所有只有一个吞吐中心的干涉图。此外，该法还具有原理简单、数学处理容易、对干涉图要求低、预处理工作量小、精度高等许多优点。该方法如果一经投入商业应用，势必将大大降低现有干涉仪测试过程对环境的苛刻要求，简化仪器结构，增强仪器功能，促进光学测试技术的进一步发展。 |
| 学科主题 | 光学 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2011-10-09 |
| 页码 | 80 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/12418]  |
| 专题 | 西安光学精密机械研究所_中国科学院西安光学精密机械研究所(2010年前) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 党利宏. 移相干涉术在光学零件测量和像质评价中的应用研究[D]. 中国科学院西安光学精密机械研究所.. 1999. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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