硅基纳米薄膜材料--纳米硅和多孔硅的物理问题研究
文献类型:学位论文
作者 | 云峰 |
学位类别 | 博士 |
答辩日期 | 1995-06 |
授予单位 | 中国科学院西安光学精密机械研究所. |
导师 | 廖显伯 |
关键词 | 纳米硅 多孔硅 硅基纳米薄膜材料 |
学位专业 | 光学 |
学科主题 | 光学 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2011-10-10 |
页码 | 129 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/14147] ![]() |
专题 | 西安光学精密机械研究所_中国科学院西安光学精密机械研究所(2010年前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 云峰. 硅基纳米薄膜材料--纳米硅和多孔硅的物理问题研究[D]. 中国科学院西安光学精密机械研究所.. 1995. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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