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硅基纳米薄膜材料--纳米硅和多孔硅的物理问题研究

文献类型:学位论文

作者云峰
学位类别博士
答辩日期1995-06
授予单位中国科学院西安光学精密机械研究所.
导师廖显伯
关键词纳米硅 多孔硅 硅基纳米薄膜材料
学位专业光学
学科主题光学
语种中文
公开日期2011-10-10
页码129
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/14147]  
专题西安光学精密机械研究所_中国科学院西安光学精密机械研究所(2010年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
云峰. 硅基纳米薄膜材料--纳米硅和多孔硅的物理问题研究[D]. 中国科学院西安光学精密机械研究所.. 1995.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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