基于石墨烯缓冲层的氮化物外延技术研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 王蕴玉
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| 答辩日期 | 2019-06 |
| 文献子类 | 博士 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 授予地点 | 中国科学院半导体研究所 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/28925]  |
| 专题 | 半导体研究所_中科院半导体照明研发中心 半导体研究所_集成光电子学国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王蕴玉. 基于石墨烯缓冲层的氮化物外延技术研究[D]. 中国科学院半导体研究所. 中国科学院大学. 2019. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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