置于真空室和分子泵、油封机械泵间的半导体冷阱装置
文献类型：专利
| 作者 | 游志明、马向利、聂增森、牛志伟、郝超英、杨晓天 |
| 发表日期 | 2005-05-18 |
| 专利号 | 200520078816.2 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 实用新型 |
| 产权排序 | 1 |
| 公开日期 | 2006-09-06 ; 2010-06-24 |
| 申请日期 | 2006-09-06 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.imp.cas.cn/handle/113462/879]  |
| 专题 | 近代物理研究所_近代物理研究所知识存储（2010之前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 游志明、马向利、聂增森、牛志伟、郝超英、杨晓天. 置于真空室和分子泵、油封机械泵间的半导体冷阱装置. 200520078816.2. 2005-05-18. |
入库方式： OAI收割
来源：近代物理研究所
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