溅射离子泵的电源
文献类型：专利
| 作者 | 杨晓天、张军辉、游志明、高大庆、蒙峻、胡振军、张喜平、候生军、张新俊 |
| 发表日期 | 2006-11-22 |
| 专利号 | 200520078831.7 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 实用新型 |
| 产权排序 | 1 |
| 公开日期 | 2006-11-22 ; 2010-06-24 |
| 申请日期 | 2005-05-23 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.imp.cas.cn/handle/113462/885]  |
| 专题 | 近代物理研究所_近代物理研究所知识存储（2010之前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨晓天、张军辉、游志明、高大庆、蒙峻、胡振军、张喜平、候生军、张新俊. 溅射离子泵的电源. 200520078831.7. 2006-11-22. |
入库方式： OAI收割
来源：近代物理研究所
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