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用于半导体探测器研制的数字影像显微系统

文献类型:期刊论文

作者韩励想 ; 李占奎 ; 靳根明 ; 王柱生 ; 肖国青
刊名核电子学与探测技术
出版日期2009-09-20
卷号2009期号:05页码:945-949
关键词半导体探测器ic制造技术 平面工艺 显微镜 数码相机
通讯作者韩励想
语种中文
公开日期2010-10-29
源URL[http://ir.imp.cas.cn/handle/113462/2053]  
专题近代物理研究所_近代物理研究所知识存储(2010之前)
推荐引用方式
GB/T 7714
韩励想,李占奎,靳根明,等. 用于半导体探测器研制的数字影像显微系统[J]. 核电子学与探测技术,2009,2009(05):945-949.
APA 韩励想,李占奎,靳根明,王柱生,&肖国青.(2009).用于半导体探测器研制的数字影像显微系统.核电子学与探测技术,2009(05),945-949.
MLA 韩励想,et al."用于半导体探测器研制的数字影像显微系统".核电子学与探测技术 2009.05(2009):945-949.

入库方式: OAI收割

来源:近代物理研究所

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