He注入单晶Si表面形貌的变化研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李炳生 ; 张崇宏 ; 杨义涛 ; 周丽宏 |
| 刊名 | 原子核物理评论
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| 出版日期 | 2008-06-20 |
| 卷号 | 2008期号:02页码:144-147 |
| 关键词 | 单晶si 离子注入 He泡 原子力显微镜 表面形貌 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-10-29 |
| 源URL | [http://ir.imp.cas.cn/handle/113462/2423]  |
| 专题 | 近代物理研究所_近代物理研究所知识存储（2010之前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李炳生,张崇宏,杨义涛,等. He注入单晶Si表面形貌的变化研究[J]. 原子核物理评论,2008,2008(02):144-147. |
| APA | 李炳生,张崇宏,杨义涛,&周丽宏.(2008).He注入单晶Si表面形貌的变化研究.原子核物理评论,2008(02),144-147. |
| MLA | 李炳生,et al."He注入单晶Si表面形貌的变化研究".原子核物理评论 2008.02(2008):144-147. |
入库方式： OAI收割
来源：近代物理研究所
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