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大孔径差分真空系统中充气气流效应分析

文献类型:期刊论文

作者张素平 ; 杨晓天 ; 蒙峻 ; 张军辉 ; 赵玉刚 ; 张喜平 ; 胡振军 ; 侯生军
刊名真空
出版日期2007-09-25
卷号2007期号:05页码:48-51
关键词充气气流效应 大孔径 差分真空系统 差分比 分子流
通讯作者张素平
语种中文
公开日期2010-10-29
源URL[http://ir.imp.cas.cn/handle/113462/2647]  
专题近代物理研究所_近代物理研究所知识存储(2010之前)
推荐引用方式
GB/T 7714
张素平,杨晓天,蒙峻,等. 大孔径差分真空系统中充气气流效应分析[J]. 真空,2007,2007(05):48-51.
APA 张素平.,杨晓天.,蒙峻.,张军辉.,赵玉刚.,...&侯生军.(2007).大孔径差分真空系统中充气气流效应分析.真空,2007(05),48-51.
MLA 张素平,et al."大孔径差分真空系统中充气气流效应分析".真空 2007.05(2007):48-51.

入库方式: OAI收割

来源:近代物理研究所

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