大孔径差分真空系统中充气气流效应分析
文献类型:期刊论文
作者 | 张素平 ; 杨晓天 ; 蒙峻 ; 张军辉 ; 赵玉刚 ; 张喜平 ; 胡振军 ; 侯生军 |
刊名 | 真空
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出版日期 | 2007-09-25 |
卷号 | 2007期号:05页码:48-51 |
关键词 | 充气气流效应 大孔径 差分真空系统 差分比 分子流 |
通讯作者 | 张素平 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2010-10-29 |
源URL | [http://ir.imp.cas.cn/handle/113462/2647] ![]() |
专题 | 近代物理研究所_近代物理研究所知识存储(2010之前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张素平,杨晓天,蒙峻,等. 大孔径差分真空系统中充气气流效应分析[J]. 真空,2007,2007(05):48-51. |
APA | 张素平.,杨晓天.,蒙峻.,张军辉.,赵玉刚.,...&侯生军.(2007).大孔径差分真空系统中充气气流效应分析.真空,2007(05),48-51. |
MLA | 张素平,et al."大孔径差分真空系统中充气气流效应分析".真空 2007.05(2007):48-51. |
入库方式: OAI收割
来源:近代物理研究所
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