Si中掺杂原子的瞬间增强扩散现象及抑制方法
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘昌龙 |
| 刊名 | 原子核物理评论
 |
| 出版日期 | 2001-09-30 |
| 卷号 | 2001期号:03页码:164-168 |
| 关键词 | 注入掺杂 瞬间增强扩散 单晶si 高能重离子 |
| 通讯作者 | 刘昌龙 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-10-29 |
| 源URL | [http://ir.imp.cas.cn/handle/113462/4675]  |
| 专题 | 近代物理研究所_近代物理研究所知识存储（2010之前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘昌龙. Si中掺杂原子的瞬间增强扩散现象及抑制方法[J]. 原子核物理评论,2001,2001(03):164-168. |
| APA | 刘昌龙.(2001).Si中掺杂原子的瞬间增强扩散现象及抑制方法.原子核物理评论,2001(03),164-168. |
| MLA | 刘昌龙."Si中掺杂原子的瞬间增强扩散现象及抑制方法".原子核物理评论 2001.03(2001):164-168. |
入库方式： OAI收割
来源：近代物理研究所
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