预注入对Si_(1-x)C_x合金形成的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王引书,李晋闽,王衍斌,王玉田,孙国胜,林兰英 |
| 刊名 | 物理学报
 |
| 出版日期 | 2001-07-12 |
| 卷号 | 2001期号:07页码:1329-1333 |
| 关键词 | 离子注入 固相外延 Si1-xcx合金 |
| 通讯作者 | 王引书 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-10-29 |
| 源URL | [http://ir.imp.cas.cn/handle/113462/4759]  |
| 专题 | 近代物理研究所_近代物理研究所知识存储（2010之前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王引书,李晋闽,王衍斌,王玉田,孙国胜,林兰英. 预注入对Si_(1-x)C_x合金形成的影响[J]. 物理学报,2001,2001(07):1329-1333. |
| APA | 王引书,李晋闽,王衍斌,王玉田,孙国胜,林兰英.(2001).预注入对Si_(1-x)C_x合金形成的影响.物理学报,2001(07),1329-1333. |
| MLA | 王引书,李晋闽,王衍斌,王玉田,孙国胜,林兰英."预注入对Si_(1-x)C_x合金形成的影响".物理学报 2001.07(2001):1329-1333. |
入库方式： OAI收割
来源：近代物理研究所
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