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氦离子注入4H-SiC晶体的纳米硬度研究；Study on nanohardness of helium-implanted 4H-SiC
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张勇 ; 张崇宏 ; 周丽宏 ; 李炳生 ; 杨义涛 |
| 刊名 | 物理学报
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| 出版日期 | 2010-06-15 |
| 卷号 | 59期号:06页码:4130-4135 |
| 关键词 | Electron-spin-resonance Silicon-carbide Mechanical-properties Cavities Release |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:3958784 |
| 公开日期 | 2011-04-20 |
| 源URL | [http://ir.imp.cas.cn/handle/113462/7699]  |
| 专题 | 近代物理研究所_近代物理研究所知识存储（2010之前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张勇,张崇宏,周丽宏,等. 氦离子注入4H-SiC晶体的纳米硬度研究；Study on nanohardness of helium-implanted 4H-SiC[J]. 物理学报,2010,59(06):4130-4135. |
| APA | 张勇,张崇宏,周丽宏,李炳生,&杨义涛.(2010).氦离子注入4H-SiC晶体的纳米硬度研究；Study on nanohardness of helium-implanted 4H-SiC.物理学报,59(06),4130-4135. |
| MLA | 张勇,et al."氦离子注入4H-SiC晶体的纳米硬度研究；Study on nanohardness of helium-implanted 4H-SiC".物理学报 59.06(2010):4130-4135. |
入库方式： OAI收割
来源：近代物理研究所
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