切割曝光技术及其在器件研究上的应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈焕章; 海潮和 |
| 刊名 | 半导体学报
 |
| 出版日期 | 1999 |
| 卷号 | 20期号:7页码:6,624_629 |
| 关键词 | Ic 切割曝光技术 制造工艺 |
| ISSN号 | 0253-4177 |
| 产权排序 | 1 |
| 公开日期 | 2010-05-25 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/574]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈焕章,海潮和. 切割曝光技术及其在器件研究上的应用[J]. 半导体学报,1999,20(7):6,624_629. |
| APA | 陈焕章,&海潮和.(1999).切割曝光技术及其在器件研究上的应用.半导体学报,20(7),6,624_629. |
| MLA | 陈焕章,et al."切割曝光技术及其在器件研究上的应用".半导体学报 20.7(1999):6,624_629. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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