统计过程控制技术在半导体生产中的应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 黄晓兰 |
| 刊名 | 电子标准化与质量
 |
| 出版日期 | 1999 |
| 期号 | 3页码:4,15_18 |
| 关键词 | 统计过程控制 半导体制造工艺 质量管理 控制图 |
| ISSN号 | 1004-9568 |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 在制造行业，质量是企业的生命，也是一切工作的根本，将统计技术运用于质量管理，是目前国际上制造行业较为流行的科学管理方法。本文以本单位的实际运用为例，介绍了运用统计过程控制方法对半导体生产线进行质量管理的一种实践。 |
| 公开日期 | 2010-05-25 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/590]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄晓兰. 统计过程控制技术在半导体生产中的应用[J]. 电子标准化与质量,1999(3):4,15_18. |
| APA | 黄晓兰.(1999).统计过程控制技术在半导体生产中的应用.电子标准化与质量(3),4,15_18. |
| MLA | 黄晓兰."统计过程控制技术在半导体生产中的应用".电子标准化与质量 .3(1999):4,15_18. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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