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45ps的超高速全耗尽CMOS/SOI环振

文献类型:期刊论文

作者刘新宇; 孙海峰
刊名半导体学报
出版日期2000
卷号21期号:8页码:3,830-832
关键词Cmos/soi器件 环振 集成电路
ISSN号0253-4177
英文摘要

亚微米全耗尽SOI(FDSOI)CMOS器件和电路经过工艺投片,取得良好的结果,其中工作电压为5V时,0.8μm全耗尽CMOS/SOI 101级环振的单级延迟仅为45ps;随着硅层厚度的减薄和沟道长度的缩小,电路速度得以提高,0.8μm全耗尽CMOS/SOI环振比0.8μm,部分耗尽CMOS/SOI环振快30%,比1μm全耗尽CMOS/SOI环振速度提高15%。

语种中文
公开日期2010-05-25
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/600]  
专题微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年)
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
刘新宇,孙海峰. 45ps的超高速全耗尽CMOS/SOI环振[J]. 半导体学报,2000,21(8):3,830-832.
APA 刘新宇,&孙海峰.(2000).45ps的超高速全耗尽CMOS/SOI环振.半导体学报,21(8),3,830-832.
MLA 刘新宇,et al."45ps的超高速全耗尽CMOS/SOI环振".半导体学报 21.8(2000):3,830-832.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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