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回眸五十年的艰辛 细微之处见业绩我国制版光刻技术的发展轨迹

文献类型:期刊论文

作者陈宝钦
刊名世界产品与技术
出版日期2000
期号4页码:2,10-11
关键词制版光刻技术 中国电子产业 半导体产业
ISSN号1006-5083
语种中文
公开日期2010-05-25
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/618]  
专题微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年)
推荐引用方式
GB/T 7714
陈宝钦. 回眸五十年的艰辛 细微之处见业绩我国制版光刻技术的发展轨迹[J]. 世界产品与技术,2000(4):2,10-11.
APA 陈宝钦.(2000).回眸五十年的艰辛 细微之处见业绩我国制版光刻技术的发展轨迹.世界产品与技术(4),2,10-11.
MLA 陈宝钦."回眸五十年的艰辛 细微之处见业绩我国制版光刻技术的发展轨迹".世界产品与技术 .4(2000):2,10-11.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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