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集成电路技术发展的物理极限挑战与对策

文献类型:期刊论文

作者金湘亮; 邝小飞
刊名半导体情报
出版日期2001
卷号38期号:5页码:5,17-21
关键词集成电路 摩尔定律 等比例缩小规律 集成系统 量子器件
ISSN号1001-5507
英文摘要介绍了集成电路芯片发展的基本规律和现状,着重综述了这些规律在微电子学领域所遇到的物理极限挑战及解决这些问题的最新技术,并预测了21世纪集成电路技术的重点研究方向。
语种中文
公开日期2010-05-25
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/650]  
专题微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年)
推荐引用方式
GB/T 7714
金湘亮,邝小飞. 集成电路技术发展的物理极限挑战与对策[J]. 半导体情报,2001,38(5):5,17-21.
APA 金湘亮,&邝小飞.(2001).集成电路技术发展的物理极限挑战与对策.半导体情报,38(5),5,17-21.
MLA 金湘亮,et al."集成电路技术发展的物理极限挑战与对策".半导体情报 38.5(2001):5,17-21.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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